2023년 9월 4일 미국 통신사 블룸버그는 중국 통신장비 제조사 화웨이의 최신 스마트폰에 중국에서 생산된 7나노(나노미터, 1나노는 10억분의 1미터) 첨단 반도체가 탑재됐다고 보도했다. 있었던 것으로 알려졌습니다.

보고서의 내용은 다음과 같습니다.

블룸버그통신의 의뢰를 받은 캐나다 조사업체 테크인사이트(TechInsights)는 화웨이의 최신 스마트폰 ‘메이트 60 프로'(8월 말 출시)를 분해해 본 결과 해당 기기가 중국 반도체 위탁제조업체에서 제작한 것으로 확인됐다. SMIC(Integrated Circuit Manufacturing)에서 제조한 Kirin 9000s’ 칩.

Tech Insights에 따르면 이 프로세서는 SMIC의 최첨단 7nm 기술을 최초로 사용한 것으로, 국내 반도체 생태계를 구축하려는 중국 정부의 노력에 어느 정도 진전이 있음을 의미합니다. ing.

이 보고서는 일본, 미국, 유럽의 정치계와 산업계에 충격을 주었다.

미국 바이든 행정부가 2022년 중국의 14나노 반도체 접근을 차단하기 위해 수출 규제를 강화했기 때문이다.

당연히 화웨이와 SMIC도 규제 대상이 됐다.

바이든 행정부가 14나노 이하 반도체에 수출 제한을 가한 이유는 당시 중국산 반도체 중 최고 성능이 14나노였기 때문이다.

그러나 SMIC는 7nm 반도체 제조에 성공했다.

7nm 반도체 제조 기술을 보유하고 있는 회사는 세계 최대 반도체 제조업체인 TSMC(Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.)와 한국의 삼성전자, 미국의 인텔 세 곳뿐입니다.

그런데 TSMC가 2024년 말까지 본격적인 출하를 목표로 구마모토현 기쿠요초에 짓고 있는 새로운 반도체 공장의 회로 선폭은 가장 진보된 수준은 아니다. 10~20nm 범위.

중국이 이미 회로 선폭이 더 작은 7나노 칩을 생산했다는 사실은 큰 충격이었다.

당초 중국에 대한 반도체 수출 규제가 효과적이라는 의견과 그렇지 않다는 의견이 엇갈렸다.

중국은 제조 장비와 설계 소프트웨어 등 해외 의존도가 매우 높기 때문에 중국에 대한 다자간 수출 통제가 엄격해 첨단 반도체를 국내에서 개발하고 제조하기가 어렵다는 의견이 타당하다. .

반면, 미국 규제에 대응해 중국 정부가 반도체 산업에 대한 지원을 확대하고, 대만의 고급 반도체 엔지니어를 영입해 자국 반도체 산업 강화를 꾀했다는 것이 타당하지 않다는 의견도 있다. 하루빨리 첨단 반도체 국산화를 달성하겠다는 목표다.

그러나 최근 중국이 7nm 반도체 제조에 성공하면서 미국의 대중국 반도체 수출 규제가 실패했다고 단정하기는 이르다.

첫 번째는 중국이 7나노 반도체 제조에 성공한 비결이다.

캐나다 조사기관 테크인사이트(TechInsights)의 분석에 따르면 7nm 칩은 가장 진보한 EUV(파장 1nm의 극자외선)가 아닌 이전 세대 DUV(파장 200~300nm의 심자외선) 노광 장비를 사용해 제조된다. ~ 100 nm) 노광 장비. 이는 다중 노출을 수행하는 장치를 사용하는 독특한 기술을 사용하여 달성된 것으로 여겨집니다.

EUV 및 DUV 노광 장비에 대해서는 후술한다.

이것을 “더블 패터닝” 기술이라고 합니다. 더블 패터닝 기술은 ‘침지 노광’ 기술의 수명을 연장시키는 잘 알려진 기술이다.

실제로 TSMC는 2018년 DUV 노광 장비를 이용해 7나노 칩 ‘A12’를 양산했고, 애플의 ‘아이폰XS’에도 탑재한 이력을 갖고 있다.

그러므로 이번에 일어난 일은 예상된 일이었다고 할 수 있다.

그러나 미국의 대중국 수출 제한 조치도 SMIC의 소형화를 막을 수는 없었다.

이 때문에 미국의 수출통제를 실패로 보는 시각도 있지만, 저자는 미국이 앞으로 중국의 소형화를 막기 위해 규제를 더욱 강화할 것이라고 본다.

중국 내 반도체 관련 투자를 제한하는 등 규제 강화 움직임은 이미 시작됐다.

본 글에서는 반도체를 둘러싼 미중 패권 다툼의 현황과 전망에 대해 논하고자 한다.

먼저 바이든 행정부의 반도체 수출 규제와 관련된 주요 사건을 논의한 후,이중 패터닝다음으로는 중국 수출규제 대상인 ASML의 DUV 노광장비에 대해 알아보겠습니다. 마지막으로 미국 정부가 중국으로 반도체 수출을 제한하는 이유와 중국의 대응에 대해 말씀드리겠습니다.